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本項目研制了我國首臺極大規(guī)模集成電路用300mm?硅單晶爐并形成系列產品，打破了國外產品的壟斷和技術封鎖，整體性能達到國際先進水平，在非對稱CUSP?磁場設計與裝置、激光液位檢測方法與裝置等方面處于國際領先水平。 項目獲授權發(fā)明專利13?件，美國發(fā)明專利2項，制定了我國首部單晶爐技術標準。核心技術和系列產品已在相關行業(yè)推廣使用并出口美國、韓國等企業(yè)，新增產值24.64?億元，新增利潤4.65?億元，取得了顯著的社會、經濟效益。2012年，獲得國家技術發(fā)明二等獎。